CME-RGA6500小分子在线质谱仪

CME-RGA6500小分子在线质谱仪的主要应用方向，半导体工业、真空镀膜(PVD、CVD)、刻蚀、粒子加速器；CO₂还原，程序升温脱附、化学化工、储能材料、硝酸根还原、燃料电池尾气检测、电-光-热催化、汽车尾气分析、电催化合成氨、热分析、固定床、电解水析氢/析氧、扣电-软包等电池产气、光催化水制氢燃料电池研究、发酵微生物呼吸气体监控、人呼吸监控、环境气体分析、地质分析、冶金过程、各种催化过程等等。

在线气体质谱仪与TGA实现联用，能够快速地分析热重测试过程中逸出气体产物；在线质谱仪可与各种催化剂评价装置，反应釜，气相色谱等连用，在线实时检测过程中的气体组成及其含量；在线质谱仪可以与化学吸附仪连用，对程序升温过程中的逸出气体进行定性和定量分析。

CME-RGA6500优势特点

1. 进样管加热，可达350℃

2. 易操作界面，10英寸彩色触摸屏，可全面控制仪器运行、采样分析、显示谱图

3. 可烘烤真空室至180℃

4. 可定制版本，如特殊进气系统、特殊外壳

5. 质量范围标配1-200amu；可选1-100amu、、1-300amu

6. 软电离选项(1-100eV)

7. 耗气量低(1-2sccm)

8. 响应快(驻留时间最短1ms/amu)

CME-RGA 6500典型应用

组分分析

通过质量数判断进样气体组分，得到真空系统中的工业气体的成分和相对浓度信息，分析真空系统的密封性、脱附行为等，便于用户判断真空室及真空组件的状态，如下图中质谱图所示

过程检测/检漏

在设置的质量数范围进行全扫描或选择扫描，长时间对某几类气体进行监控(含报警功能)以观察真空腔体内气体组分浓度随时间的变化，如下图中时间趋势图所示

CME-RGA6500技术参数

1. 运行环境

1.1. 环境温度：15-35℃；

1.2. 相对湿度：≤85%；

1.3. 适用电源：220V(±10%),50Hz(±2%)；

2. 小分子质谱仪参数

2.1. 主要性能指标

2.1.1. ★质量范围：1-200 amu；

2.1.2. 进样管：石英毛细管/不锈钢毛细管；

2.1.3. ★毛细管温度：≥350℃；

2.1.4. 腔体加热温度：≥200℃；

2.1.5. 进样管入口压力：0.5-2.5atm；

2.1.6. 进样管长度：1m/2m；

2.1.7. 灵敏度：2.5E-4A/Pa；

2.1.8. 最小可检测分压：1.25E-10Pa

2.1.9. 质量准确性：±0.10 amu；

2.1.10. ▲仪器最小检测限：≤100ppb；

2.1.11. 检测范围：100ppb-99%；

2.1.12. ▲驻留时间：1ms – 16s/amu；

2.1.13. ▲分辨率@10%峰值高度：0.5-2amu可调；

2.1.14. 扫描方式：全扫描、选择离子监测；

2.1.15. 整机尺寸（长×宽×高）：655×358×318 mm；

2.1.16. ▲重量：29.3kg；

2.1.17. 接口：以太网LAN×1、USB×1；

2.2. 离子源

2.2.1. 离子源类型：开放式离子源；

2.2.2. 离子源配置：双灯丝软件切换；

2.2.3. 灯丝电流：1000μA；

2.2.4. 离子化能量：1-100eV；

2.2.5. 灯笼电压：1-140V；

2.3. 质量分析器

2.3.1. ★质量分析器：配备预四极的高精度全金属双曲面四极杆；

2.3.2. 四极杆尺寸：98.5*24.6*6 mm；

2.4. 检测器

2.4.1. 法拉第杯和电子倍增器，对低浓度物质使用法拉第杯检测器，高浓度使用电子倍增器测定；

2.5. 真空系统

2.5.1. 前级泵：无油隔膜泵，抽速≥0.6 m?/h；

2.5.2. ▲配置高性能涡轮分子泵，抽速≥67L/s；

3. 软件工作站

3.1. ★质谱仪全中文一体化控制软件工作站；

3.2. 实时监控：可设置监测离子物质，设置监测强度阈值，超过一定分压即实时查看到超标物质并打开蜂鸣器；

3.3. 对质谱图中不同质量数进行元素定性功能；

3.4. 化合物定量MCD采集功能：通过加载已知组分含量的标准气体，再新的样品后可以得到对应化合物浓度。

4. 售后服务

4.1. 安装、校准与试运行:仪器制造厂技术员在买方用户现场免费安装调试，技术指标合格。

4.2. 培训:提供技术服务，现场培训内容（包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等），培训工作直至技术人员能独立操作为止。

4.3. 质保与维修:仪器厂商提供1年的免费保修服务。

技术资料:提供仪器设备的安装、操作手册、维修保养手册等技术文件，及产品合格证、质量保证书和产品软件等全套资料。