电感耦合等离子体质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。电离后的分子因接受了过多的能量会进一步碎裂成较小质量的多种碎片离子和中性粒子。
它们在加速电场作用下获取具有相同能量的平均动能而进入质量分析器。质量分析器是将同时进入其中的不同质量的离子，按质荷比m/e大小分离的装置。
分离后的离子依次进入离子检测器，采集放大离子信号，经计算机处理，绘制成质谱图。离子源、质量分析器和离子检测器都各有多种类型。
连续正弦波电源才能保证这些电子电路的正常工作，仪器供电线路单独从供电变压器的配电盘上得到，尽量不与大电机，大的通风机，空调机，马弗炉等大的用电设备共用一条供电线路，以免在这些用电设备起动时，供电线路的电压大幅度的波动，造成仪器工作不稳定。
电感耦合等离子体质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪;按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪;按工作原理分为静态仪器和动态仪器。
电感耦合等离子体质谱仪整体性能指标优异，该仪器配置自动进样器，使测试过程更加自动化，提高测试效率;采用的碰撞反应池技术，有效的消除多原子离子干扰，降低易受干扰元素的检出限;
智能化软件，集成应用方法包，简化样品测试过程，提高测试数据的可靠性。电感耦合等离子体质谱仪已广泛应用于环境、食品、半导体、核工业、石油化工、矿产、医药及生理分析等领域。
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